คำอธิบายผลิตภัณฑ์ของฟอสฟีน CAS#7803-51-2
ฟอสฟีน (หมายเลข CAS 7803-51-2; สูตรทางเคมี: PH₃) เป็นก๊าซที่มีความเป็นพิษสูง ติดไฟได้ และอาจระเบิดได้ ถูกใช้อย่างแพร่หลายในการผลิตสารกึ่งตัวนำเป็นก๊าซเจือปนสำหรับการแปรรูปวัสดุขั้นสูง และยังมีการประยุกต์ใช้ในเกษตรกรรมเป็นสารรมสำหรับควบคุมศัตรูพืช
เนื่องจากความเป็นพิษรุนแรงและลักษณะอันตรายของมัน ฟอสฟีนจึงต้องถูกจัดการภายใต้ระเบียบปฏิบัติด้านความปลอดภัยที่เข้มงวดและสภาวะการกักเก็บที่เหมาะสม แม้แต่การสัมผัสกับความเข้มข้นที่ค่อนข้างต่ำก็สามารถส่งผลกระทบต่อสุขภาพอย่างรุนแรง ทำให้การจัดเก็บ การขนส่ง และการใช้งานอย่างระมัดระวังเป็นสิ่งจำเป็น
ข้อมูลจำเพาะที่สำคัญ
| พารามิเตอร์ | เกรดอิเล็กทรอนิกส์ | เกรดอุตสาหกรรม |
| ความบริสุทธิ์ | ≥99.999% | ≥99.9% |
| ปริมาณ O₂ | ≤0.5 ppm | ≤50 ppm |
| ปริมาณ H₂O | ≤1 ppm | ≤10 ppm |
| สิ่งเจือปนทั้งหมด | ≤10 ppm | ≤1000 ppm |
การใช้งานผลิตภัณฑ์
1. การผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ทำหน้าที่เป็นก๊าซโดแปนต์ฟอสฟอรัสสำหรับซิลิคอนชนิด n ช่วยให้ควบคุมการโดปได้อย่างแม่นยำ และมีความสม่ำเสมอของการโดป ≤0.1%
ใช้ในกระบวนการ MOCVD (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition) สำหรับการผลิต LED ที่ใช้ GaN และอุปกรณ์ออปโตอิเล็กทรอนิกส์ขั้นสูงอื่นๆ
2. การรมควันเมล็ดพืช
ใช้เป็นสารรมควันสำหรับเมล็ดพืชที่เก็บไว้ ให้ประสิทธิภาพสูงในการควบคุมศัตรูพืช และมีอัตราการตายของศัตรูพืชสูงถึง 99.9% ที่ปริมาณการใช้ 2 กรัมต่อลูกบาศก์เมตร ภายใต้แนวทาง OECD 633
เสนอทางเลือกการรมควันที่มีสารตกค้างต่ำ และสามารถใช้เป็นทางเลือกแทนเมทิลโบรไมด์ในการควบคุมศัตรูพืชบางประเภท
3. การสังเคราะห์ทางเคมี
ใช้ในการสังเคราะห์ทางเคมีเฉพาะทางเป็นตัวเร่งปฏิกิริยาหรือสารทำปฏิกิริยาที่มีฟอสฟอรัส รวมถึงกระบวนการที่เกี่ยวข้องกับการเตรียมสารตัวกลางทางเภสัชกรรมแบบไครัล
